Sala limpa de chip semicondutor

Com o rápido desenvolvimento da ciência e da tecnologia, os chips semicondutores tornaram-se um dos principais componentes dos produtos eletrônicos modernos. Para garantir a qualidade e a eficiência da produção de chips semicondutores, a construção de salas limpas tornou-se crucial. Existem altos requisitos para a qualidade do ar do ambiente de produção, e a qualidade do ar está relacionada à taxa de rendimento e à qualidade do produto. Muitas indústrias de semicondutores exigem salas limpas.

Semicondutor limporPrincípio oom

Sala limpa é uma sala especialmente projetada que exclui partículas de poeira, gases nocivos, bactérias e outros poluentes do ar dentro de um determinado espaço e controla a temperatura interna, limpeza, pressão interna, velocidade e distribuição do fluxo de ar, vibração de ruído, iluminação e eletricidade estática dentro de uma determinada faixa necessária. Em outras palavras, as partículas de poeira nesta sala controlada são bastante raras.

Vantagens da tecnologia de sala limpa

O processo de fabricação de semicondutores tem requisitos muito altos e é muito sensível a ambientes empoeirados. A tecnologia de sala limpa pode alcançar um bom controle ambiental e filtragem eficaz, tornando o processo de fabricação livre de poluição ou com poluição extremamente baixa. Isso oferece possibilidades ilimitadas de alta qualidade e alta eficiência dos processos de fabricação de semicondutores.

No processo de fabricação de produtos semicondutores modernos, as principais vantagens da tecnologia de sala limpa incluem:

1. Melhorar a eficiência da produção: Uma série de fatores, como temperatura, umidade e pressão do ar, podem ser controlados na sala limpa para regular melhor o ambiente de fabricação, melhorando assim a eficiência da produção.

2. Reduza a taxa de contaminação do produto: O material particulado no ar na sala limpa é finamente filtrado, com menos poluição, reduzindo assim a taxa de contaminação do produto.

3. Melhorar a qualidade do produto: Limpo A tecnologia da sala pode controlar o ambiente de fabricação e manter uma temperatura e umidade relativamente constantes, melhorando assim a qualidade do produto.

4. Reduza os custos de produção: Por meio da tecnologia de sala limpa, a taxa de danos dos produtos pode ser reduzida e a qualidade do produto pode ser melhorada. Ao mesmo tempo, também reduz os custos de produção

Limpeza do ar

Os padrões de limpeza das salas limpas de materiais semicondutores são divididos principalmente em vários níveis, de alto a baixo: Classe 100, Classe 1000, Classe 10000 e Classe 100000. Entre eles, o padrão de limpeza da Classe 100 é o mais alto e os requisitos são muito rígidos, enquanto o padrão de limpeza da Classe 10000 é relativamente frouxo.

O padrão de limpeza Classe 100 é o nível mais alto de requisitos de limpeza emsalas limpas de material semicondutor. Nesse nível, a concentração de material particulado no ar deve ser muito baixa, e o número total de partículas com tamanho de partícula igual ou superior a 0,5 μm por polegada cúbica de ar não excederá 100. Além disso, os requisitos para microrganismos também são muito rigorosos, exigindo que não haja microrganismos.

O padrão de limpeza Classe 1000 exige que a concentração de material particulado no ar não exceda 1000 partículas de poeira maiores ou iguais a 0.5 μm por metro cúbico. Os requisitos para microrganismos são relativamente baixos e um certo número de microrganismos pode existir.

O padrão de limpeza Classe 10000 exige que a concentração de material particulado no ar não exceda 10.000 por metro cúbico. Os requisitos para microrganismos são relativamente vagos e um certo número de microrganismos pode existir.

O padrão de nível de limpeza de 100.000 é o nível mais baixo de exigência de limpeza em salas limpas de materiais semicondutores. Nesse nível, a concentração de material particulado no ar não deve exceder 100.000 por metro cúbico. Os requisitos para microrganismos são relativamente frouxos e um certo número de microrganismos é permitido.

Efeitos da umidade em salas limpas

1. Crescimento bacteriano

2. A faixa de temperatura ambiente que os trabalhadores se sentem confortáveis 

3. O aparecimento de carga estática

4. Corrosão do metal

5. Condensação de vapor de água

6. Degradação da fotolitografia

7. Absorção de água

A fabricação de semicondutores também possui requisitos muito rígidos para controle de temperatura e umidade. De um modo geral, a temperatura em uma sala limpa é controlada entre 20-24 graus Celsius e a umidade é controlada entre 30-60%. O controle de temperatura e umidade tem um impacto importante no desempenho e na confiabilidade do chip.

Bactérias e outros contaminantes biológicos (mofo, vírus, fungos, ácaros) podem se reproduzir ativamente em um ambiente com umidade relativa superior a 60%. A umidade deve ser controlada entre 40% e 60% para minimizar o impacto de bactérias e infecções respiratórias, que também é a faixa moderada para o conforto humano.

Pontos-chave do design de oficina limpa

1. Atenda aos requisitos do processo de produção para projeto arquitetônico e realize espaço e instalações de fabricação de alto desempenho. Ao projetar o plano geral, o layout do plano e o projeto de seção da oficina limpa do projeto de purificação, deve-se levar em consideração o uso racional do local e os requisitos da produção do processo. Ao projetar o edifício do projeto de oficina limpa de purificação, a relação entre a área limpa e sua área auxiliar relacionada deve ser bem tratada.

2. Realize instalações que possam operar economicamente, economizar energia, ser fáceis de manter e reduzir os custos de construção. O projeto arquitetônico da oficina limpa de purificação deve garantir que a oficina limpa de purificação seja limpa, fácil de limpar, evitar a poluição interna e externa e evitar a geração, retenção e acúmulo de partículas.

3. Devem ser utilizadas instalações operacionais altamente confiáveis. O projeto arquitetônico da oficina limpa de purificação deve garantir a operação segura do equipamento de construção e garantir a segurança do pessoal e da propriedade em caso de acidente. A estrutura principal deve ter um nível de grau consistente com o nível de equipamento de processo, tratamento de construção e decoração na oficina limpa de purificação, a durabilidade e resistência ao fogo da oficina limpa, e a decoração deve ser coordenada com o nível do equipamento para fazer o investimento durar por um longo tempo.

4. Devem ser realizadas instalações que possam se adaptar a mudanças futuras. O plano arquitetônico e o layout espacial da oficina limpa devem ser flexíveis para criar condições para o ajuste dos processos de produção.

O padrão de sala limpa de semicondutores é um padrão muito importante que está diretamente relacionado ao sucesso da fabricação de semicondutores. Ao cumprir rigorosamente o padrão de sala limpa, podemos garantir que a qualidade do ar, temperatura e umidade, controle de eletricidade estática e outros aspectos do processo de fabricação de semicondutores atendam aos requisitos, garantindo assim a qualidade de fabricação e o desempenho do chip. No futuro processo de fabricação de semicondutores, o padrão de sala limpa continuará a desempenhar um papel importante e fornecer forte suporte para o desenvolvimento da indústria de semicondutores.