Padrões de sala limpa para oficinas de fabricação de chips na indústria de semicondutores

1. Padrões de grau de sala limpa

O grau das salas limpas é geralmente dividido de acordo com o número e o tamanho das partículas permitidas no ar. A ISO 14644 é geralmente usada internacionalmente para classificação de grau. De acordo com esta norma,os graus de salas limpas são de alto a baixo: ISO 1-9.

Deve-se notar que os padrões de sala limpa podem variar de acordo com indústrias e aplicações específicas. Na produção de chips semicondutores, os requisitos padrão para salas limpas são geralmente mais rigorosos para garantir que a qualidade e o desempenho dos chips produzidos atendam às expectativas.

Os graus de sala limpa podem ser divididos em: Grau 1> Grau 10> Grau 100> Grau 1000> Grau 10000> Grau 300000.

As salas limpas de grau 1 são usadas principalmente na indústria de microeletrônica para a fabricação de circuitos integrados, e os requisitos de precisão para circuitos integrados são submicron.

As salas limpas de grau 10 são usadas principalmente na indústria de semicondutores com largura de banda inferior a 2 mícrons.

A limpeza de grau 100 é amplamente aplicável e pode atender às necessidades de limpeza da maioria das indústrias. Pode ser usado para tecnologia de fabricação asséptica na indústria farmacêutica. Esta sala limpa pode ser usada em cirurgias para transplante e fabricação de integradores, bem como tratamento de isolamento de pacientes particularmente sensíveis a infecções bacterianas.

As salas limpas da classe 1000 são usadas principalmente para produzir produtos ópticos finos e também para testar e montar giroscópios de aeronaves, montar micro rolamentos finos, etc.

As salas limpas classe 10.000 podem ser usadas para a montagem de equipamentos hidráulicos ou pneumáticos e, em alguns casos, também são usadas na indústria de alimentos e bebidas. Além disso, as salas limpas Classe 10.000 também são amplamente utilizadas na indústria médica.

2. Considerações de segurança

A decoração de salas limpas de semicondutores deve atender aos requisitos de segurança. De um modo geral, há um grande número de substâncias inflamáveis e explosivas em salas limpas de semicondutores, portanto, os regulamentos de segurança nacionais relevantes, como prevenção de incêndio e prevenção de explosão, devem ser observados durante a decoração. Além disso, a poluição ambiental e a saúde e segurança do pessoal também devem ser consideradas para garantir que os materiais de decoração atendam aos padrões nacionais e não causem danos à saúde humana.

3. Sistema de tratamento de ar de sala limpa

Salas limpas de semicondutoresrequerem sistemas de tratamento de ar para garantir a limpeza do ar na oficina. O sistema de tratamento de ar é composto principalmente por filtros de ar, sistemas de suprimento de ar, sistemas de retorno de ar e sistemas de exaustão. Entre eles, os filtros de ar são um componente importante que pode remover efetivamente partículas e microorganismos do ar.

4. Decoração do assoalho, da parede e do teto

Na decoração de salas limpas de semicondutores, a decoração do piso, parede e teto é muito importante porque essas áreas são suscetíveis à poluição. O piso deve ser feito de materiais resistentes ao desgaste, antiestáticos e fáceis de limpar, como piso autonivelante epóxi ou piso de plástico PVC; As paredes e o teto devem ser feitos de materiais resistentes à corrosão, antiestáticos e fáceis de limpar, como alumínio sanduíche painel, painel de aço inoxidável, parede de cortina de vidro, etc.

5. Layout de equipamentos elétricos, como lâmpadas e tomadas

Na decoração de salas limpas de semicondutores, o layout de lâmpadas e soquetes também é muito importante. Para evitar a entrada de poluentes como poeira e microorganismos na oficina, esses dispositivos devem ser instalados no teto ou acima da altura da parede, materiais antiestáticos e não gotejadores de pó devem ser selecionados.

6. Portas, janelas, bancadas de trabalho limpas e outras instalações

Na decoração da sala de limpeza do semicondutor,portas para salas limpas, janelas para salas limpas, bancadas de trabalho limpas e outras instalações também precisam de consideração especial. As portas e janelas devem ser feitas de materiais com bom desempenho de vedação e fáceis de limpar, como portas e janelas de aço inoxidável; As bancadas de trabalho limpas devem ser feitas de materiais que não deixem cair pó, partículas de escória, resistentes à corrosão e fáceis de limpar, como bancadas de aço inoxidável.